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硅超大规模集成电路工艺技术
普卢默迪尔格里芬
其他書名
理论、实践与模型
出版电子工业出版社, 2005
ISBN71210198769787121019876
URLhttp://books.google.com.hk/books?id=6TrSAQAACAAJ&hl=&source=gbs_api
註釋本书不仅介绍了与超大规模集成电路芯片生产制造相关的实际工艺技术, 而且着重讲解了这些工艺技术背后的科学原理.特别是对于每一步单项工艺技术, 书中都通过工艺模型和工艺模拟软件, 直观地给出了实际工艺过程的物理图像.