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超高真空
清水肇
榎本祐嗣
一村信吾
出版
オーム社
, 1997
主題
Reference / General
ISBN
4274023605
9784274023606
URL
http://books.google.com.hk/books?id=7wW7AAAACAAJ&hl=&source=gbs_api
註釋
加速器、核融合といったビッグサイエンスから電子デバイスの開発、表面科学などなどたくさんの研究開発を支える基盤技術―超高真空。本書はいまやエレクトロニクス分野では不可欠なものとして利用されるようになった超高真空の技術と、いまどのような新しい発見がなされているかをわかりやすく解き明かします。