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Grundlagen für neuartige plasmachemische Prozesse zur gezielten und selektiven Polymermodifizierung, Teilvorhaben: Langzeitstabile Plasmaausrüstung

其他書名	Schlussbericht
出版	STEAG microParts GmbH, 2003
URL	http://books.google.com.hk/books?id=FPXBPgAACAAJ&hl=&source=gbs_api