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線性馬達與雷射量測系統於接觸式量測裝置之應用研究
吳翰林
出版撰者, 2011
URLhttp://books.google.com.hk/books?id=HHe6kQEACAAJ&hl=&source=gbs_api
註釋本研究為針對精密光學元件(如非球面光學元件)的表面輪廓量測"212B38"整合線性馬達(linear motors)XY驅動平檯與雷射干涉儀(Interferometry System)於接觸式量測裝置之應用研究.此量測裝置主要由線性馬達XY驅動平檯, 雷射動態量測系統, 使用壓電致動器(PZT)驅動的主動式探測頭及相關的位置感測器裝置等建構而成的系統.於先前的相關研究成果中"212B38"已驗證特殊設計的雷射光路有效性, 雷射量測系統的誤差補償等.本篇論文之研究目的為應用線性馬達XY驅動平檯於接觸式量測裝置"212B38"並針對量測裝置進行一系列靜態與動態特性實驗的性能探討.其研究探討之內容包含線性馬達XY驅動平檯的移動特性, 主動式探測頭(active-type measuring probe)的有限元素分析(FEM)與設計, 壓電致動器所驅動的探測頭之位移特性實驗, 且依據實驗結果"212B38"規劃量測力為100 mgf(1 mN)的主動式探測頭之細定位控制並搭配線性馬達XY驅動平檯的大行程量測範圍 (平檯總行程:150x150 mm"212B38"定位精度: 0.1.