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MEMS ke kao xing
哈策尔 (美)
出版电子工业出版社, 2012
ISBN71211880589787121188053
URLhttp://books.google.com.hk/books?id=MK7ioAEACAAJ&hl=&source=gbs_api
註釋本书是关于MEMS可靠性的一本专著, 主要内容包括:用于寿命预测的可靠性统计理论, MEMS产品设计阶段和制造阶段的失效模式, MEMS在使用中的失效模式, MEMS的失效根源及分析, MEMS的试验和鉴定标准, 以及提升MEMS可靠性的工具和技术.