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Plasmachemische Strukturierung und Integration von HfO2-Schichten als MIM-Dielektrikum in eine 0,25[Mikrometer]-Technologie

Mirko Fraschke

出版	Technische Hochschule, 2008
URL	http://books.google.com.hk/books?id=NCcOjwEACAAJ&hl=&source=gbs_api

註釋

Physikalische Technik