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Metal‐lorganic Chemical Vapor Deposition of Aluminum Scandium Nitride

Stefano LeoneJana LiglChristian ManzLutz KirsteTheodor FuchsHanspeter MennerMario PrescherJoachim WiegertAgne ZukauskaiteRüdiger QuayOliver Ambacher

出版	Universität, 2020
URL	http://books.google.com.hk/books?id=NyOZzwEACAAJ&hl=&source=gbs_api