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Silizium-Halbleitertechnologie
Ulrich Hilleringmann
其他書名
Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
出版
Springer-Verlag
, 2018-12-12
主題
Technology & Engineering / Electronics / General
Technology & Engineering / Electronics / Circuits / General
Science / Physics / Condensed Matter
Technology & Engineering / Electronics / Semiconductors
Technology & Engineering / Electrical
Technology & Engineering / Superconductors & Superconductivity
ISBN
365823444X
9783658234447
URL
http://books.google.com.hk/books?id=O8l-DwAAQBAJ&hl=&source=gbs_api
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SAMPLE
註釋
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert.