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Reaktionen, Zwischenprodukte und Verfahren zur Herstellung von amorphen Si3N4-Pulvern durch Umsetzung von SiCl4 mit NH3 in der Gasphase

Gerald Ziegenbalg

出版	Technische Universität Bergakademie Freiberg, 1999
ISBN	38601207949783860120798
URL	http://books.google.com.hk/books?id=YJhQAQAAIAAJ&hl=&source=gbs_api