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Kombination von Dünnschichttechnik mit der Lasertechnik - eine ätzfreie und damit umweltfreundliche Lösung zur Herstellung Feinstleiterstrukturen für die Mikroverbindungstechnik
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Abschlußbericht über ein Entwicklungsprojekt ; gefördert unter dem Az: 13871 von der Deutschen Bundesstiftung Umwelt ; [Projektbeginn: 1.4.1999, Projektende: 30.09.2000]
出版LPRF Laser & Electronics AG, 2001
URLhttp://books.google.com.hk/books?id=m3CMPgAACAAJ&hl=&source=gbs_api