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Technologien für Mikrosysteme
Joachim Hafkesbrink
其他書名
Stand und Entwicklung : integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik
出版VDI-Verlag, 1993
ISBN31840132199783184013219
URLhttp://books.google.com.hk/books?id=pB90AAAACAAJ&hl=&source=gbs_api