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Diborane Nitrogen/ammonia Plasma Chemistry Investigated by Infrared Absorption Spectroscopy

David Franz

出版	CRPP, Centre de recherches en physique des plasmas, Ecole polytechnique fédérale, 1998
URL	http://books.google.com.hk/books?id=unTRGwAACAAJ&hl=&source=gbs_api