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出版丸善出版, 2024-07
主題Literary Collections / Asian / Chinese
ISBN46213097819784621309780
URLhttp://books.google.com.hk/books?id=vE220AEACAAJ&hl=&source=gbs_api
註釋薄膜技術は長い歴史をもつ基礎的な技術であり、応用される分野は広い。とくに今日のナノテクノロジーは、微細加工・微細構造作製技術と組み合わされた薄膜技術なしには成り立たない。本書は薄膜の作製・評価・性質を系統的にまとめた解説書である。基本を重視する従来の編集方針はそのままに、第4版では新たに3項目「半導体薄膜(ワイドバンドギャップ材料)」「ハロゲン化金属ペロブスカイト薄膜(太陽電池への応用)」「2次元材料薄膜(グラフェン、MX2など)」を追加。薄膜技術の基礎・応用に携わる学生、研究者、技術者にとって最適な一冊である。