登入選單
返回Google圖書搜尋
Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2
Александр ВеличкоНина Филимонова
出版Litres, 2022-01-29
主題Study Aids / GeneralTechnology & Engineering / Mechanical
ISBN50411304509785041130459
URLhttp://books.google.com.hk/books?id=xwAkEAAAQBAJ&hl=&source=gbs_api
EBookSAMPLE
註釋Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».